化工行业标准
《高纯工业品 过氧化氢》HG/T 5736-2020
产品指标
使用用途
超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
包装
根据客户需求,产品有超洁净电子级聚乙烯桶(25L/30L/200L)、1000L IBC桶、集装箱槽罐车(20-30t槽罐车(内衬PFA/n-PDFE))等多种包装。
注:基于特殊的化学性质,过氧化氢的包装须使用有排气孔的容器。
运输
本品按氧化剂运输规则运输,防止剧烈振摇;
请勿直接用手接触,操作应配戴塑胶手套;
若不慎接触或包装发生泄漏,请用大量水冲净。